激光机系统

线比安

线比安VYPER

线比系统是高产大型基板上LTPS反滑机大规模制造的赋能光学技术

流线剖面宽达1500毫米至Gen 10.5特征短长轴均匀化最大吞吐量和波束使用高脉冲稳定性高深域保证大进程窗口

LineBeam – Some Key Performance Metrics

从LineBeam顶端帽状图中得益,短轴和长轴均优同质性,均短波长308纳米或355纳米

数据表

产品规范

参数

值传

行长度

750

1000

1300

1500

束剖析类型

沿两个轴头顶

焦点深度

++150

++120

++120

++120

长轴同质率(%)

0.6(2-12)

短轴同质性(%)

0.8(2-12)

解决之道

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