三五光学Wafer能力
源2英吋至6英吋瓦器编译
设备类型 |
基础素材 |
材料容量 |
瓦法直径 |
EpiLaser VCSELELLED |
GAs |
AlGaAs/GaAs/InGaP/GaAs/InGaP |
最大150毫米 |
InP |
P/InGAs、InGASP、InALAs、InALGAs |
最大100毫米 |
|
Epi检测器 P-i-N,APD |
GAs |
AlGaAs/GaAs/InGaP/GaAs |
最大150毫米 |
InP |
P/InGAs,InGASP,InGAAss |
最大100毫米 |
|
EpiSolarTM 1J2J3J4J |
GASGE |
GaP/GaAs/InGaAs |
最大150毫米 |
InP |
P/InGAs、InGASP、InALAs、InALGAs |
最大100毫米 |
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