客户余信故事
Excimer激光增能试卷激光沉积薄膜
挑战
薄膜沉积技术应用于多种市场,如MEMS、半导体、光电演程、OLED显示器和RF滤波5G通信新的复杂材料系统越来越关键物质特性需要不断扩展并质量提高薄膜沉降技术,支持范围更广的薄膜过程,同时允许流程优化的灵活性somate一家公司专门处理脉冲激光沉降问题,位于荷兰恩斯赫德,开始开发强健易用沉降设备,供演化薄膜行业使用
求解
Solmates团队使用PLD物理蒸发沉降法,依赖excimer激光光把复杂声学素材存储到操作和非操作子串上它们的PLD系统对沉积参数提供完全控制,使最终薄膜特性工程化成为可能,如组成性、晶性、密度、孔度和膜压力薄膜制造商可实现电子光薄膜特性,而其他沉积技术无法实现,甚至冒险开发新材料系统和应用上头半岛综合体育俱乐部官网首页下载协和LEAPexcimer激光序列由Solmates选择高能和可缩放电量组合(80-300W)确定PLD系统吞吐量半岛游戏官方登录网站入口外加LEAP激光24/7工业可靠性并尽量减少高容量生产环境成本
结果
SolmatesPLD平台可整合到任何标准集群框架支持试制和高容量制作高质量PLD流程达300毫米,允许工业客户拓展薄膜沉积能力,并增加约30种新素材和材料系统
半岛游戏官方登录网站入口相容电容激光系核心
Arjen Janssens,CEOSSLOSLENDETSEENDESCHETE,Enshede,荷兰
图1Soltates开发强健易用PLD沉积设备