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素材规范 |
|
素材类 |
协联LiNbO3 |
素材质量 |
冒泡或归并 <100m Qty < 8,30微米 < 百米 |
方向定位 |
Y切++0.2摄氏度 |
密度 |
4.65g/cm3 |
库里温度 |
1142++ |
透明性 |
大于450-700纳米的10毫米厚度大于95% |
制造规范 |
|
直径 |
150毫米+++2 |
厚度 |
350微米+10 |
平坦性 全厚变异 局部厚度变异 下划线 粗糙度 |
1.3微米 温度 < 70微米@ 150mm wifer 70微米@150毫米宽幅 Rq++5nm |
表面质量 |
40-20 |
粒子类 |
非可移动粒子 : 100-200m+3粒子 20-100m+20粒子 |
芯片 |
<300m(全宽带无隔离区) |
破解 |
无裂缝 |
污染 |
不可移动染色 |
并行性 |
<30arc二 |
方向指平面 |
47+2毫米 |
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